不同的真空系統(tǒng)要求的真空度不同。一臺高真空泵和一臺低真空泵難于組成有效的高真空機組。這有幾方面的原因。流量的連續(xù)性就是其中之一。高真空泵都有前級耐壓的限制，即前級高于某一壓力，泵就不能正常工作。但如在高低真空泵之間再連接一臺中真空泵，便可起到承上啟下的作用，流量連續(xù)，而且各泵皆可工作狀態(tài)。因此往往必須由一套真空機組來完成，即由工作在不同壓力范圍的真空泵串接起來。高真空一側的真空泵能達到系統(tǒng)要求的真空度，而低真空一側的真空泵是直排大氣的。顯然簡單的真空機組就是一臺直排大氣的真空泵。但高真空系統(tǒng)一般需要三級機組，中真空一般需要二級機組。高真空機組往往需要三級機組的另一個原因歸結于高真空泵的吸入壓力的限制。泵都有起始工作壓強，傳統(tǒng)的高真空泵都在幾Pa的范圍。因此前級泵必須預抽到這一壓力主泵才能開始工作。但直排大氣的前級泵抽至這一壓力往往需要較長的時間，因為隨著壓力降低泵的抽速在減小，特別是對于周期性抽氣的真空機組，對達到工作真空度的時間是有要求的，預抽時間越長，而當前級泵達到這一臨界壓力時，往往抽速會減小，這樣前級泵的排氣流量可能會小于主泵的排氣流量，這種流量的不一致破壞了流量連續(xù)性的要求，必然會引起真空機組不能正常工作。進入工作真空度的時間也越長，故增加一臺中真空泵與前級低真空泵配合，可在較短的時間達到主泵可以工作的壓力，這樣可以使系統(tǒng)盡快地進入工作壓力，保證了設備的使用效率。